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再付着とは？ わかりやすく解説

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再付着（リデポジション,リデポ）　redeposition

集束イオンビームその他イオンビームを使った試料断面作製の際に、イオンビームでスパッタされた試料が、断面あるいは隙間などに付着する現象。

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