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蒸着源とは？ わかりやすく解説

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蒸着源　evaporation source

真空蒸着を行うときの蒸着材料。材料そのものを意味したり、あるいは、その保持材を含めて言うことが多い。カーボンの場合は材料そのものを成形して用い、金、金パラジウム、白金パラジウム、アルミニウム等の場合は、タングステン線をV形あるいはバスケット形にして保持する。

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