このように，多くの洗浄工程に超音波は使われるのだが，大雑把に言えば硬い材料を対象にし，大量な部品... このように，多くの洗浄工程に超音波は使われるのだが，大雑把に言えば硬い材料を対象にし，大量な部品の細かい部分を洗う用途に向いている。その代表例として，HDD，太陽電池用ウエハ，光学ガラス，半導体・LED基板などで多く使われる。シリコン・サファイアインゴットのダイシング後工程において，比較的低い周波数である26kHzや38kHzなどが使われており，強力な洗浄を求められる。ウエハ上のパターン配線工程には高周波である700kHz～1MHzの洗浄機が使われている。HDD洗浄では，近年段階的に周波数をあげて洗浄する超音波の活用がされており，低周波であら洗浄，高周波で精密洗浄が行われている。HDDの記憶密度は360GB／3.5インチ基板（プラッタ）を超え，わずかな欠陥も許されなくなり，40kHz程度の低周波で発生するボイドが問題となっている。 これら多くの洗浄対象物は，製造工程における微粒子洗浄である
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