h2oを含む例文一覧と使い方
該当件数 : 108件
In forming Al2O3 film by ALE method using TMA and H2O on a glass substrate, CH3OH evaporated before forming film or during formation of film is introduced and surface treatment for increasing surface hydroxyl group concentration of the ground surface is carried out by exposing the ground surface in gas atmosphere of CH3OH.例文帳に追加
ガラス基板上にＴＭＡとＨ_2Ｏを用いたＡＬＥ法によりＡｌ_2Ｏ_3膜を形成するにあたって、成膜前及び成膜中に気化したＣＨ_3ＯＨを導入し、下地面を、ＣＨ_3ＯＨ分子の気体雰囲気中に暴露することにより、下地面の表面水酸基濃度を高める表面処理を行う。 - 特許庁
A film-forming gas, comprising an alkoxy compound having a Si-H bond, or a siloxane having a Si-H bond, and an oxygen containing any one of O2, N2O, NO2, CO, CO2 or H2O, is turned into a plasma and is made to react, and a silicon-containing insulation film 24 is formed.例文帳に追加
Ｓｉ−Ｈ結合を有するアルコキシ化合物、又はＳｉ−Ｈ結合を有するシロキサンと、Ｏ_2、Ｎ_2Ｏ、ＮＯ_2、ＣＯ、ＣＯ_2、又はＨ_2Ｏのうち何れか一の酸素含有ガスとからなる成膜ガスをプラズマ化し、反応させて、シリコン含有絶縁膜２４を形成することを特徴とする成膜方法による。 - 特許庁
In this method for manufacturing a semiconductor device, the wiring interlayer insulating film 34 is formed by making either alkoxy compound having a Si-H bond or siloxane having a Si-H bond and a film forming gas composed of either one of oxygen-containing gas, O2, N2O, NO2, CO, CO2 or H2O into plasma and react each other.例文帳に追加
配線層間絶縁膜３４を、Ｓｉ−Ｈ結合を有するアルコキシ化合物、又はＳｉ−Ｈ結合を有するシロキサンの何れか一と、Ｏ_2、Ｎ_2Ｏ、ＮＯ_2、ＣＯ、ＣＯ_2、又はＨ_2Ｏの何れか一の酸素含有ガスとからなる成膜ガスをプラズマ化し、反応させて形成することを特徴とする半導体装置の製造方法による。 - 特許庁
Provided on either or both of the plasma chamber and processing chamber is a gas inlet, that can introduce an oxidizing gas, such as air, H2O gas, O2 gas or the like from the exterior at any time.例文帳に追加
所定の物質をプラズマ中で励起してイオンを発生させるプラズマ室と、イオンビームを試料に衝突させて試料にイオンを注入する処理室とを有するイオン注入装置において、プラズマ室及び処理室の少なくとも一方に、その外部から空気、Ｈ_2Ｏガス、Ｏ_2ガス等の酸化性ガスを随時導入することが可能なガス導入口を設けたことを特徴としている。 - 特許庁
With this kind of the electron beam inspection device, a means for generating active species of hydrogen is provided in the sample room, where hydrocarbon system gas remaining in the sample room is dissolved into carbon dioxide (CO2) and water (H2O) through oxidization by activated species of oxygen, to eliminate hydrocarbon system gas from inside the sample room, thus, contamination of the samples can be cut off.例文帳に追加
このような電子ビーム検査装置において、試料室に酸素の活性種を生成する手段を設け、試料室内に残留しているハイドロカーボン系ガスを、酸素の活性種により酸化し二酸化炭素（ＣＯ_2 ）および水（Ｈ_2Ｏ）へ分解させ、ハイドロカーボン系ガスを試料室内から無くし、試料汚染を低減することができる。 - 特許庁
This method, for treating a gas containing a fluorocompound and carbon monoxide, contains the step of contacting the gas with O2 and H2O at 850°C or higher to oxidize CO to CO2 and the step of contacting the treated gas with γ-alumina at 600-900°C to decompose the fluorocompound.例文帳に追加
本発明に係るガス処理方法は、フッ素含有化合物及びＣＯを含むガスを処理する方法であって、上記ガスを、850℃以上の温度で、Ｏ_2及びＨ_2Ｏと接触させて、ＣＯをＣＯ_2に酸化させ、次いで、上記ガスを、600〜900℃の温度でγ−アルミナと接触させてフッ素含有化合物を分解する、各工程を含むことを特徴とする。 - 特許庁
The deoxidation of the inorganic salt of aspartame is carried out by alternatively arranging an anionic exchange membrane and a cationic exchange membrane having 4-10 mmol/g-H2O fixed ion concentration between a cathode and an anode mutually facing, supplying an aqueous solution of the inorganic acid salt of aspartame to a diluting room of an electrodialysis apparatus composed of the diluting room and a concentrating room and then carry out the electrodialysis.例文帳に追加
対向する陰極と陽極との間に、陰イオン交換膜と固定イオン濃度が４〜１０ｍｍｏｌ／ｇ−Ｈ_2Ｏの陽イオン交換膜とを交互に配列して、希釈室と濃縮室とを構成した電気透析装置の希釈室にアスパルテーム無機酸塩水溶液を供給して電気透析を行うことにより、アスパルテーム無機酸塩の脱酸を行う。 - 特許庁
Formaldehyde or glutaraldehyde gas generated after a medical instrument is disinfected by a disinfectant such as formaldehyde or glutaraldehyde in a disinfection treatment chamber 12 is passed through a photocatalyst type filter 20 in a decomposition treatment chamber 14 and decomposed into carbon dioxide (CO2) and water (H2O) by anatase type titanium oxide particles supported on the photocatalyst type filter 20 to be detoxified before discharged.例文帳に追加
消毒処理室１２で医療器具をホルムアルデヒドあるいはグルタルアルデヒド等の消毒剤により消毒した後に発生するホルムアルデヒドガスやグルタルアルデヒドガス等を分解処理室１４で光触媒型フィルタ２０に通し、その光触媒型フィルタ２０に担持されるアナターゼ型酸化チタン粒子により二酸化炭素（ＣＯ_２）と水（Ｈ_２Ｏ）とに分解し無害化して排気処理する。 - 特許庁
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