OSGとは 意味・読み方・使い方

The carbon, OSG and FSG layers can be used as an IMD (Inter-Metal Dielectric) layer (isolation between lines).例文帳に追加

炭素、ＯＳＧ，ＦＳＧ層は、ＩＭＤ層（ライン間の分離）として使用される。 - 特許庁

To remove at least a portion of carbon-containing species within an organosilicate (OSG) film.例文帳に追加

有機シリケート（ＯＳＧ）膜内の炭素含有種の少なくとも一部分を除去すること。 - 特許庁

To provide an alternate embodiment improving the conventional defect that adhesive properties of a barrier layer to OSG is not allowable, when the barrier layer is disposed between OSG and copper.例文帳に追加

ＯＳＧと銅の間にバリア層を設ける場合、ＯＳＧに対するバリア層の接着性が許容し得ないものであるという従来技術の欠点を改良する代替の実施形態を提供する。 - 特許庁

In another embodiment of the method, the OSG film is deposited from an asymmetric silicon-containing mixture.例文帳に追加

本発明のもう一つの態様では、不斉ケイ素含有前駆体を含む混合物から、ＯＳＧ膜を被着させる。 - 特許庁

In both embodiments, the mixture can further contain the pore-former precursor for providing a porous OSG film.例文帳に追加

どちらの態様でも、混合物は、多孔性ＯＳＧ膜を提供するため細孔形成剤前駆体を更に含むことができる。 - 特許庁

In order to create air gap 23 filled with air in space, OSG (Organic Silicon Glass) and FSG (Fluorine-Doped Silicon Glass) can be formed.例文帳に追加

また、空間内に空気で満たされた空隙２３を生じさせるために、ＯＳＧ（有機シリコンガラス）やＦＳＧ（フッ素ドープシリコンガラス）を形成することができる。 - 特許庁

To provide a chemical-vapor deposition method for fabricating a low-dielectric-constant organic silicate (OSG) having improved mechanical characteristics by adjusting the quantity of an organic radical, for example, a methyl radical etc., in a mixture.例文帳に追加

機械的特性の向上した低誘電率有機ケイ酸塩（ＯＳＧ）を、混合物中の例えばメチル基等の有機基の量を調整することにより製造するための化学気相成長法を開示する。 - 特許庁