PECVDとは 意味・読み方・使い方

SYSTEM AND METHOD FOR SHIELDING DURING PECVD DEPOSITION PROCESSES例文帳に追加

ＰＥＣＶＤ堆積処理中の拘束シールドのためのシステム及び方法 - 特許庁

The low hydrogen-content silicon nitride materials are deposited by a variety of CVD and PECVD techniques, using chemical precursors that contain silicon atoms, nitrogen atoms, or both.例文帳に追加

低水素量の窒化ケイ素材が，種々のCVDおよびPECVDにより，ケイ素原子，窒素原子，または両方を含む化学前駆体を使用して付着される。 - 特許庁

Cat-PECVD METHOD AND SEMICONDUCTOR DEVICE FORMED USING SAME例文帳に追加

Ｃａｔ−ＰＥＣＶＤ法およびそれを用いて形成した半導体装置 - 特許庁

An interlayer insulation film 5 consisting of silicon nitride is deposited by a PECVD method, and an overcoat film 10 consisting of silicon nitride is deposited by the PECVD method.例文帳に追加

ＰＥＣＶＤ法により窒化シリコンからなる層間絶縁膜５を成膜すし、ＰＥＣＶＤ法により窒化シリコンからなるオーバーコート膜１０を成膜する。 - 特許庁

To provide a new AP PECVD apparatus and a plasma thin film vapor deposition method.例文帳に追加

新しいＡＰ ＰＥＣＶＤ装置とプラズマ薄膜蒸着法を提供する。 - 特許庁

To provide a shadow frame which is particularly useful in plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) applications used to make active matrix liquid crystal displays (AMLCDs) and solar cells.例文帳に追加

活性マトリックス型液晶ディスプレイ（AMLCD）および太陽電池の作成に使用される、プラズマ強化型化学気相堆積（PECVD）用途において特に有用なシャドウフレームを提供する。 - 特許庁

To provide a PECVD coating installation including a gas line system of a uniform gas distribution.例文帳に追加

均一なガス配分の配管システムを具備するＰＥＣＶＤコーティング装置を提供する。 - 特許庁

SYSTEM AND METHOD FOR CONTROL OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN PECVD DISCHARGE PROCESSES例文帳に追加

ＰＥＣＶＤ放電処理において電磁放射線を制御するためのシステム及び方法 - 特許庁