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During the radiation and scanning of the laser LS1, the dust of the substrate matrix 1 and the collectively sealed body 9 generated during the cutting operation is sucked by vacuum suction by a dust collection groove SJM provided at the stage.例文帳に追加
レーザーＬＳ１の照射および走査中には、ステージに設けられた集塵溝ＳＪＭによる真空吸引により、切断作業中に発生した基板母体１および一括封止体９の塵を吸引する。 - 特許庁
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