SLG1とは 意味・読み方・使い方

Each of transmissive patterns SLG1, SLG2 includes slots SLa or slots SLb in the same number which are regularly and equally spaced in a sub-scanning direction.例文帳に追加

透過パターンＳＬＧ１，ＳＬＧ２のそれぞれは、副走査方向に等間隔で規則的に配置された同数のスロットＳＬａまたはスロットＳＬｂを有する。 - 特許庁

By this exposure scanning, a region irradiated with the pulse light transmitting through the transmissive pattern SLG1 is then irradiated with pulse light transmitting through the transmissive pattern SLG2 after a predetermined period has passed.例文帳に追加

この露光走査によれば、透過パターンＳＬＧ１を透過したパルス光が照射された領域には、所定時間経過後に、透過パターンＳＬＧ２を透過したパルス光が照射される。 - 特許庁

When a pattern drawing device 100 scans an exposure unit 30 equipped with a mask 361 to the (+Y) side of the main scanning direction with respect to a substrate 9, the drawing device exposes a resist layer of a substrate 9 through the transmissive patterns SLG1, SLG2 at the same time.例文帳に追加

パターン描画装置１００は、マスク３６１を備えた露後部３０を、基板９に対して主走査方向の（＋Ｙ）側へ走査させる場合、透過パターンＳＬＧ１，ＳＬＧ２とを同時に介して基板９のレジスト層を露光する。 - 特許庁