Solution precursor plasma sprayとは 意味・読み方・使い方

There is provided a method for producing silicon materials, including steps of: providing a multi-elemental water-soluble precursor solution containing at least one silicon precursor without substantially containing halogen; and applying a heat source selected from thermal plasma, flame spraying, a hot-wall reactor or a spray pyrolysis system with the silicon precursor to produce multi-elemental silicon materials.例文帳に追加

少なくとも１つのケイ素前駆体を含む、実質的にハロゲンを含まない、多元素系水溶性前駆体溶液を与えることと、このケイ素前駆体に熱プラズマ、火炎噴霧、ホットウォールリアクタまたは噴霧熱分解システムから選択される、熱源をあてて多元素系ケイ素材料を作成することとを含む、ケイ素材料を製造する方法。 - 特許庁