TXRFとは 意味・読み方・使い方

After that, the silicon wafer surface mirror-finished by the gas-phase etching is scanned by a TXRF method so that in-plane distribution information of the metal impurities contained in the first surface layer of the silicon wafer is obtained.例文帳に追加

その後、気相エッチングにて鏡面化されたシリコンウェハ表面をＴＸＲＦ法にてスキャンし、シリコンウェハの第１表層に含まれる金属不純物の面内分布情報を取得する。 - 特許庁

To provide a method for evaluating the total amount of Cu that is solid-solved in a silicon wafer, and moreover the Cu concentration of a bulk region even though in the use of a total X-ray reflection fluorescence (TXRF) method for measuring the Cu concentration of a surface of the silicon wafer.例文帳に追加

シリコンウェーハの表面におけるＣｕの濃度を測定するＴＸＲＦ法を用いるにもかかわらず、シリコンウェーハ中に固溶しているＣｕの全量、ひいてはバルク領域中のＣｕ濃度を評価する方法を提供する。 - 特許庁