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TDMAGeとは 意味・読み方・使い方
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Wiktionary英語版での「TDMAGe」の意味 |
TDMAGe
名詞
TDMAGe
- Tetrakis(dimethylamino)germanium, a metalorganic source for germanium nitride (GeN) in MOCVD of semiconductors. It grows GeN instead of Ge, and is used at either high temperatures (600-800 C) or with plasma because of its very low vapor pressure and higher decomposition temperature.
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