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Tantaとは 意味・読み方・使い方
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To provide a method of depositing film for precisely forming a tanta lum oxidation film having a small thickness that has very high in-plane uniform ity of the thickness, very small surface roughness, and moreover satisfactory electrical properties.例文帳に追加
低温でも、膜厚の面内均一性が非常に高くて表面粗さは非常に小さく、しかも電気的特性が良好な薄い膜厚のタンタル酸化膜を精度良く形成することができる成膜方法を提供する。 - 特許庁
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