XSAとは 意味・読み方・使い方

The X-directional search area XSA and the Y-directional search area YSA are scanned from the inside toward the outside and the edge line is detected in accordance with the change of light quantity.例文帳に追加

Ｘ方向サーチエリアＸＳＡとＹ方向サーチエリアＹＳＡとを内側から外側に向かって走査し、光量変化に基づいてエッジラインを検出する。 - 特許庁

Further, on the basis of the recognized alignment mark AM as a reference, an X-directional search area XSA of the prescribed range in the X-direction where it is predicted that there is an edge line and a Y-directional search area YSA of the prescribed range in the Y-direction are preset.例文帳に追加

そして、認識されたアライメントマークＡＭを基準として、エッジラインがあると予測されるＸ軸方向の所定範囲のＸ方向サーチエリアＸＳＡと、Ｙ軸方向の所定範囲のＹ方向サーチエリアＹＳＡとを設定する。 - 特許庁