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ZTOとは 意味・読み方・使い方
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To provide an oxide-semiconductor target having a correct Zn/(Zn+Sn) composition of a ZTO (zinc-tin composite oxide)-based oxide-semiconductor material which has high mobility and the stability of a threshold potential, and is little restricted by the aspect of costs, resources and a process, and to provide an oxide-semiconductor device using the same.例文帳に追加
高移動度でしきい電位安定性を有し、且つコスト面や資源的制約、プロセス的制約の少ないＺＴＯ（亜鉛錫複合酸化物）系酸化物半導体材料の適正なＺｎ／（Ｚｎ＋Ｓｎ）組成の酸化物半導体ターゲット及びそれを用いた酸化物半導体装置を提供する。 - 特許庁
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