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Alo2とは 意味・読み方・使い方
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遺伝子名称シソーラスでの「Alo2」の意味 |
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「Alo2」を含む例文一覧
該当件数 : 1件
A lower electrode 4 consists of an anodized aluminum substrate stage 41 of Al, a substrate protective sheet 45 of alumina ceramics to which a small quantity of Ti2O3 is doped, and a substrate holder 46 of AlO2 ceramics, while placed at the lower surface of the chamber 2 with an anodized aluminum lower electrode pedestal 43 of Al in between.例文帳に追加
下部電極４は、アルマイト処理されたＡｌ製の基板ステージ４１と、Ｔｉ２Ｏ３を少量添加したアルミナセラミックス製の基板保護シート４５と、ＡｌＯ２セラミックス製の基板押さえ４６とを有し、チャンバ２の下面にアルマイト処理されたＡｌ製の下部電極台４３を介して配置される。 - 特許庁
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