Deposition Downとは 意味・読み方・使い方

When the substrate 4 is arranged above the cathode 1 to perform the film deposition in a deposition-down posture, the deflection caused by the self weight of the substrate 4 is suppressed by the dielectric body supporting member 5, and the distance between the substrate and the cathode can be kept at a predetermined narrow gap.例文帳に追加

カソード１の上方に基板４を配設してデポダウンの姿勢で成膜を行う場合に、誘電体支持部材５によって基板４の自重たわみが抑制されるため、基板−カソード間距離を一定の狭ギャップに保つことができる。 - 特許庁

To provide an apparatus for manufacturing a porous glass preform in which the deposition of soot on the upper surface (ceiling) is prevented to suppress the stripping/ falling down from the upper surface.例文帳に追加

反応室上面（天井）へのススの付着を防止し、上面からの剥離・落下を低減することのできる多孔質ガラス母材の製造装置を提供する。 - 特許庁

To provide a vapor deposition apparatus preventing a phenomenon of hanging down of a substrate by being equipped with a substrate auxiliary supporting part for supporting the substrate inside it.例文帳に追加

本発明の目的は、蒸着装置内部に基板を支持する基板補助支持部を具備して基板の垂れ現象を防止する蒸着装置を提供することである。 - 特許庁

To provide a CVD film deposition system, in which the peeling off of a thin film adhering to an internal electrode and its falling down onto the inside of a container can be prevented, keeping the system availability.例文帳に追加

内部電極に付着した薄膜が容器内に剥がれ落ちるのを防止し、且つ、装置の稼働率の低下を抑制できるＣＶＤ成膜装置を提供する。 - 特許庁

To provide a vacuum deposition apparatus which does not need to move a lower lid up and down and to put a workpiece support means in and out from a vacuum chamber, and is easily maintained.例文帳に追加

下蓋を昇降させることなく、またワーク支持手段を真空チャンバから出し入れすることなく、メンテナンスが容易な真空蒸着装置を提供する。 - 特許庁

By conducting the heat treatment with rapid heating up and down, oxygen deposition nuclei having a size of 20 nm or less are formed in high concentration of 1×10^10 atms/cm^3 or above in the BMD layer 34 and thereby a BMD layer 37 containing the oxygen deposition nuclei in high concentration is formed.例文帳に追加

このような急速昇降温熱処理を行うと、ＢＭＤ層３４に２０ｎｍ以下のサイズの酸素析出核が１×１０^１０ａｔｍｓ／ｃｍ^３ 以上の高密度で形成され、高密度に酸素析出核を含むＢＭＤ層３７が形成される。 - 特許庁

To provide a method and a device for taking waste sludge, radioactive waste, out of a storage tank once and effectively breaking down the sludge consolidated during a deposition, in the inspection of the tank to readily transfer the sludge.例文帳に追加

放射性廃棄物である廃スラッジを貯蔵タンクから一旦取り出して、タンクの検査時に、堆積中に固結したスラッジを効果的に崩して容易に移送する方法とその装置を提供する。 - 特許庁

Further, a heater plate 6 is installed in the lower side of the sheet 4 freely movably up and down, the heater 6 is contacted with the sheet 4 to heat and evaporate the material 3, and vapor deposition is performed to the surface of the substrate 2.例文帳に追加

また、シート４の下側にヒーター板６を上下移動可能に設置し、このヒーター６をシート４に接触させて材料３を加熱蒸発させ、基板２上に蒸着を行う。 - 特許庁