EPWとは 意味・読み方・使い方

On a susceptor 2B, a substrate wafer W is placed when manufacturing an epitaxial wafer EPW.例文帳に追加

サセプタ２Ｂは、エピタキシャルウェーハＥＰＷを製造する際に基板ウェーハＷが載置される。 - 特許庁

On the susceptor 2 constituting the device 1 for manufacturing epitaxial wafer, a substrate wafer W is placed at the time of manufacturing the epitaxial wafer EPW by forming an epitaxial film EP on the surface of the substrate wafer W.例文帳に追加

製造装置１を構成するサセプタ２は、基板ウェーハＷの表面にエピタキシャル膜ＥＰを形成してエピタキシャルウェーハＥＰＷを製造する際に基板ウェーハＷが載置されるサセプタである。 - 特許庁

Infrared rays are projected on a semiconductor wafer EPW in which the plurality of thin film layers E1, E2 having dopant concentrations different from each other are formed on the substrate S, and the creation of interferogram based on the measurement of reflecting light is carried out more than one time.例文帳に追加

基板Ｓ上に互いにドーパント濃度の異なる複数層の薄膜Ｅ１，Ｅ２が形成された半導体ウェーハＥＰＷに対し赤外線を照射し、この反射光の測定に基づくインターフェログラムの生成を複数回行う。 - 特許庁

The epitaxyial wafer EPW obtained at the step S2 is taken out from the reaction chamber at the step S3 and then immediately contacted with the air containing ozone at the S4 to form the chemical silicon oxidation membrane on the surface of the epitaxyial layer E.例文帳に追加

ステップＳ２で得られたエピタキシャルウェーハＥＰＷをステップＳ３にて反応室から搬出し、直ちにステップＳ４にてオゾン含有空気に接触させることにより、シリコンエピタキシャル層Ｅの表面に化学的シリコン酸化膜Ｃを形成する。 - 特許庁