EK2-3とは 意味・読み方・使い方

A means 9 of judging charge-up finds the difference between the measured value Ek1 and a theoretical value Ek2, and if it is outside an allowable range, the charge-up is considered to exist and the accelerating voltage of the electron gun 2 after the irradiation of the electron beam 3 is changed to suppress the charge-up by adjusting the quantity of the secondary electron.例文帳に追加

チャージアップ判定手段９が、このエネルギーの測定値Ｅｋ１と理論値Ｅｋ２との差を求め、これが許容範囲外ならばチャージアップありとみなし、主コントローラー１４によりそれ以降の電子ビーム３照射の際の電子銃２の加速電圧を変化させ、２次電子量を調整してチャージアップを抑制する。 - 特許庁