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FIB systemとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 集束イオンビーム装置
「FIB system」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 31件
In order to observe a worked cross section being worked by an FIB, the axis of the electron optics system of a scanning electron microscope(SEM) 40 is set vertical to the axis of the ion-optics system of an FIB device 20.例文帳に追加
ＦＩＢで加工中の加工断面を観察するために、ＦＩＢ装置２０のイオン光学系の軸に対しＳＥＭ４０の電子光学系の軸を垂直にした。 - 特許庁
To raise contrast level of the FIB image by increasing the secondary electron collection efficiency of the secondary electron detection system in the focusing ion beam device(FIB).例文帳に追加
集束イオンビーム装置（ＦＩＢ）における二次電子検出系の二次電子収集効率を高めてＦＩＢ画像のコントラストレベルを上げる。 - 特許庁
To completely automate the motion of an FIB milling system for modifying a semiconductor device.例文帳に追加
半導体装置の修正を行うためのＦＩＢミリングシステムの動作を完全に自動化させる。 - 特許庁
To provide a FIB(focusing ion beam) device compact with excellent performance by reducing aberration of an ion optical system.例文帳に追加
イオン光学系の収差を軽減して、コンパクトで性能のよいＦＩＢ装置を提供すること。 - 特許庁
The sample processing apparatus has a processing chamber equipped with a part for fixing the particulate sample processing/retaining material, an FIB irradiation system for irradiating the particulate sample processing/retaining material with FIB, and a vacuum decompression system.例文帳に追加
前記の微粒子試料加工保持材の固定部、微粒子試料加工保持材にＦＩＢを照射するＦＩＢ照射系および真空減圧系を備えた加工室を具備した試料加工装置。 - 特許庁
To provide a system of which the secondary electrons emitted by FIB irradiation are prevented from turning into noise of an SEM detection signal when observing a process of implementing FIB work in real time by an SEM, in a system including an FIB lens barrel and an SEM lens barrel.例文帳に追加
本発明が解決しようとする課題は、ＦＩＢ鏡筒とＳＥＭ鏡筒を備えたシステムにおいて、ＦＩＢ加工を実行している過程をリアルタイムでＳＥＭ観察する際に、ＦＩＢ照射によって放出される二次電子がＳＥＭ検出信号のノイズとならないようなシステムを提供することにある。 - 特許庁
To provide a system with an FIB tube and a SEM tube, wherein influence of a secondary electron excited by an FIB does not come out as noise in a SEM image, when performing SEM observation of FIB processing on a real time basis.例文帳に追加
本発明が解決しようとする課題は、ＦＩＢ鏡筒とＳＥＭ鏡筒を備えたシステムにおいて、ＦＩＢ加工をリアルタイムでＳＥＭ観察する際に、ＦＩＢによる励起二次電子の影響がＳＥＭ画像中でノイズとして出ないようなシステムを提供することにある。 - 特許庁
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「FIB system」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 31件
When using the FIB system, charging of electric charges to be accumulated in the conductive patterns is dispersed through the conductive lines.例文帳に追加
ＦＩＢシステムを用いるに際し、導電性パターンに形成される電荷のチャージングを導電ラインを介して分散させる。 - 特許庁
An irradiation axis of an FIB irradiation system 16 and an irradiation axis of a STEM observation electron beam irradiation system 5 are made almost orthogonal, and the sample 7 is arranged at the intersection position and the FIB cross-section working face of the sample is made a thin-film face of the STEM observation sample.例文帳に追加
ＦＩＢ照射系１６の照射軸とＳＴＥＭ観察用電子ビーム照射系５の照射軸をほぼ直交させ、その交差位置に試料７を配置して、試料のＦＩＢ断面加工面をＳＴＥＭ観察用試料の薄膜面にとる。 - 特許庁
An irradiation axis of an FIB irradiation system 16 is made to almost perpendicularly cross with that of an electron beam irradiation system for STEM observation 5, the sample 7 is arranged on the crossing position, and an FIB cross section processing face is used for a thin film face for STEM observation.例文帳に追加
ＦＩＢ照射系１６の照射軸とＳＴＥＭ観察用電子ビーム照射系５の照射軸をほぼ直交させ、その交差位置に試料７を配置して、試料のＦＩＢ断面加工面をＳＴＥＭ観察用試料の薄膜面にとる。 - 特許庁
To enable additional processings in FIB system, while observing with high magnification and high resolution by separating a thin piece processed on an wafer with FIB equipment from the wafer, and in order to observe with TEM equipment, it is integrated to a grid with adhesion.例文帳に追加
ＦＩＢ装置でウエハー上に加工された薄片をウエハーから分離してＴＥＭ装置で観察するため、グリッドに接着一体化し、高倍率高分解能で観察するとともにＦＩＢ装置での追加工を可能とする。 - 特許庁
To provide a method for performing milling and imaging in a focused ion beam (FIB) system employing an inductively coupled plasma ion source.例文帳に追加
誘導結合プラズマ・イオン源を使用した集束イオン・ビーム（ＦＩＢ）システムにおいてミリングおよび画像化を実行する方法を提供すること。 - 特許庁
To provide a method for STEM sample preparation and analysis that can be used in a FIB-STEM system without a flip stage.例文帳に追加
フリップステージなしにＦＩＢ−ＳＴＥＭシステムで使用されることができるＳＴＥＭサンプル作製および解析のための方法を提供する。 - 特許庁
An electrode of the 4PAFM probe is constituted by manufacturing three slits on a chip of a cantilever using a focused ion beam system (FIB).例文帳に追加
４ＰＡＦＭのプローブの電極は、集束イオンビームシステム（ＦＩＢ）を用いたカンチレバーのチップ上に、３つのスリットを作製することにより構成されている。 - 特許庁
To install a micromachining function of an FIB (focused-ion beam) system and a non-destructive and excellent image forming function of an SEM (scanning electron microscope) into a single apparatus suitable for mass production of high-precision nanodevices.例文帳に追加
ＦＩＢシステムのマイクロマシニング機能と、ＳＥＭの非破壊かつ優れた像形成機能とを、高精度なナノデバイスの大量生産に適した１台の装置に組み込む。 - 特許庁
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