Gaussian beamsとは 意味・読み方・使い方

The quantity, the intensity distribution or the like of laser beams can be controlled by using an ND filter, a gray mask, a Gaussian filter or the like.例文帳に追加

また、ＮＤフィルタ、グレイマスク、ガウシャンフィルタ等を用いることで、レーザ光の光量、及び、強度分布等を制御することができる。 - 特許庁

In this case, energy distribution in the longitudinal direction and width direction in the beam spot of laser beams is Gaussian distribution, and scanning is made with laser beams so that the laser beams are applied to one region of the amorphous semiconductor film for not less than 5 micro seconds and not more than 100 micro seconds.例文帳に追加

このとき、レーザビームのビームスポットにおける長さ方向及び幅方向のエネルギー分布はガウス分布であり、非晶質半導体膜の一領域あたりにレーザビームを５マイクロ秒以上１００マイクロ秒以下照射するようにレーザビームを走査する。 - 特許庁

The dose distribution of charged particle beams arriving on a wafer is approximated with a linear combination of two or more Gaussian functions, and the energy distribution in the wafer due to charged particles incident on one point of the wafer is expressed with a single Gaussian function of a linear combination of two or more Gaussian functions, to calculate the energy accumulation quantity.例文帳に追加

ウエハ上に到達する荷電粒子線の線量分布を２個以上のガウシアン関数の線形結合で近似すると共に、ウエハ上の１点に入射した荷電粒子によりウエハ中に分布されるエネルギーの分布を単一のガウシアン関数又は２つ以上のガウシアン関数の線形結合で表して、エネルギー蓄積量の計算を行う。 - 特許庁

At the intersection of these collimated light beams A3 and A4, an interference fringe having a Gaussian intensity distribution is generated on a work 9 placed on a stage 10 to expose a periodic pattern.例文帳に追加

これらのコリメート光Ａ３，Ａ４の交差部に、ステージ１０上のワーク９上に周期パターンを露光するための光強度分布がガウシアン分布を示す干渉縞が発生される。 - 特許庁

To provide an optical system capable of applying laser beams of a uniform distribution into a relatively large range without being accompanied by difficulties in the processing of a phase correction lens with respect to the laser optical system which turns the laser beams of a gaussian distribution into uniform intensity and performs phase correction for the uniform beams.例文帳に追加

ガウシアン分布のレーザビームを均一強度にしかつその均一ビームに対して位相補正を行うレーザ光学系に関して、位相補正レンズの加工の困難性を伴うことなく、比較的大きな範囲に均一分布のレーザビームを照射することができる大面積照射光学系を提供する。 - 特許庁

The difference between deflection quantities in respective directions (a1-a2) is adjusted to a value, which can cancel an increase δPa of exposure quantity, at deflecting of the one light beam Beam1 in the direction where superposition upon another light beam Beam2 becomes larger, by taking into consideration Gaussian distribution shape of the light beams Beam1, Beam2.例文帳に追加

各方向への偏向量の差（ａ_１−ａ_２）は、光ビームBeam1，Beam2のガウシャン分布の形状を考慮し、一方の光ビームBeam1を他方の光ビームBeam2との重なり合いが大きくなる方向に偏向させたときの露光量の増加分δＰａを相殺可能な値に調整する。 - 特許庁

To provide a homogenizer constituted of a single lens in order to make the irregularity of a beam small against the small inclination (tilt) of a lens in the case of: refracting and reducing wide parallel beams whose phases are uniform and whose energy distribution constitutes a Gaussian distribution; and uniformly distributing and radiating it to a narrow range on the surface of an object.例文帳に追加

位相が揃っておりエネルギー分布がガウシアン分布である広い平行ビームを屈折させ縮小し対象物面において狭い範囲で均一分布照射させる際に、レンズの僅かな傾き（チルト）に対してビーム崩れを小さくするため、１枚レンズよりなるホモジナイザーを提供すること。 - 特許庁