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Inspection and Measurement Divisionとは 意味・読み方・使い方
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該当件数 : 1件
An inspection region 2 is designated using design information 1, region division 3 for measurement by a scatterometry method is performed, and pattern classification 4 of obtained and detected data is performed to classify patterns into a periodic region 5 and a non-periodic region 6.例文帳に追加
設計情報１を用いて検査領域２を指定し、スキャットロメトリー法によって測定するための領域分割３を行い、得られた検出データをパターン分類４し、周期領域５と非周期領域６に分類する。 - 特許庁
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| ※この記事は「日本法令外国語訳データベースシステム」の2010年6月現在の情報を転載しております。 | |
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