Morouとは 意味・読み方・使い方

This method comprises processes of: dividing light radiated from a white light source 109 into reference light and signal light by a beam splitter 102; emitting the signal light to a sample 107 through a Morou interferometer 105; making light reflected from the sample surface with the reference light and imaging the interference intensity occurring in the Morou interferometer 105; and applying voltage current to the semiconductor circuit chip as the sample.例文帳に追加

白色光源１０９から放射された光をビームスプリッタ１０２により参照光と信号光に分割する工程と、信号光を試料１０７にミラウ干渉計１０５を通して入射する工程と、試料表面より反射した光と参照光を干渉させてミラウ干渉計１０５に生じた干渉強度を画像化する工程と、試料である半導体回路チップに電圧電流を印加する工程とを含む。 - 特許庁