oxidation chamberとは 意味・読み方・使い方

Oxidation may occur controllably in pass-through chambers 56 and 80 between a high-vacuum transfer chamber 62 and a low-vacuum transfer chamber 40.例文帳に追加

酸化は高真空搬送チャンバ６２と低真空搬送チャンバ４０の間の通過チャンバ５６、８０内で制御可能に行うことができる。 - 特許庁

A plurality of chambers is mounted in a common chamber 103, and include oxidation chamber 107, solution application chamber 108, plasticizing chamber 109 and gas-phase film forming chambers 110, 111.例文帳に追加

共通室１０３に複数の処理室が設けられ、複数の処理室には酸化用処理室１０７、溶液塗布用処理室１０８、焼成用処理室１０９、気相成膜用処理室１１０、１１１が含まれる。 - 特許庁

By using a chemical reaction apparatus having a structure in which the unit film 6 divides an oxidation chamber 8 on the side of the oxidation catalyst film from a reduction chamber 7 on the side of the reduction catalyst film, hydrogen peroxide can be produced from oxygen.例文帳に追加

また、該ユニット膜６で酸化触媒膜側の酸化室８、還元触媒膜側の還元室７に区画された構造を有する化学反応装置を用い、酸素から過酸化水素を製造することができる。 - 特許庁

Thus, all metal surfaces exposed in a reaction chamber are covered with oxidation protection films while controlling metal contamination in the chamber.例文帳に追加

このように、反応室内に露出する金属部材表面に酸化保護膜を形成しているので、反応室内が金属汚染されることが抑制される。 - 特許庁

An electrolytic cell of three-chamber structure having an intermediate chamber partitioned by two neutral diaphragms is used, and the reduction of the fatigued iron-chloride solution is performed in a cathode chamber and the oxidation of the ferrous-chloride solution purified in a separate step is conducted in an anode chamber.例文帳に追加

中性隔膜２枚で仕切られた中間室を有する３室構造の電解槽を用いて、陰極室では塩化鉄疲労液の還元を行い、陽極室では、別工程で精製した塩化第一鉄液の酸化を行う。 - 特許庁

Nitrogen is introduced as a sputtering gas and carbon dioxide is introduced as a processing gas, into an oxidation sputtering chamber 11.例文帳に追加

酸化スパッタチャンバ１１内には、スパッタガスとして窒素を導入し、プロセスガスとして二酸化炭素を導入する。 - 特許庁

A semiconductor substrate 100, wherein a natural oxide layer 102 is naturally generated is put in a furnace or an RTO chamber (rapid thermal oxidation chamber) and a hot hydrogen gas is introduced into the chamber so that the natural oxide layer 102 is deoxidized.例文帳に追加

自然酸化物層が自然生成された半導体基板を、炉内またはＲＴＯ室（急速熱酸化室）に入れ、高温水素ガスを室内に導入して自然酸化物層を脱酸する。 - 特許庁

To prevent the oxidation of a mold by suppressing the flow-in of oxygen into a chamber in the taking in and out glass to a chamber without cooling the mold to a low temperature to keep the whole chamber to the high level low oxygen atmosphere.例文帳に追加

低温まで型を冷やすことなくチャンバ内へのガラスの出し入れを行う際に、チャンバ内への酸素の流入を抑えて、チャンバ内全体を高レベルな低酸素雰囲気に保ち、型の酸化を防ぐ。 - 特許庁