porogensとは 意味・読み方・使い方

METHOD FOR OBTAINING AND USING POROGENS, POROGENS-INTEGRATED PRECURSOR AND POROUS ORGANIC SILICA GLASS FILM WITH LOW DIELECTRIC CONSTANT例文帳に追加

ポロゲン、ポロゲン化された前駆体および低誘電率をもつ多孔質有機シリカガラス膜を得るためにそれらを使用する方法 - 特許庁

POROGENS, POROGENATED PRECURSORS AND METHODS FOR USING THE SAME TO PROVIDE POROUS ORGANOSILICA GLASS FILMS WITH LOW DIELECTRIC CONSTANTS例文帳に追加

ポロゲン、ポロゲン化前駆体、及び低誘電定数を有する多孔性有機シリカガラスフィルムを得るためにそれらを用いる方法 - 特許庁

The preparative film is provided with pores, and all the porogens are substantially removed to obtain a porous film whose dielectric constant is less than 2.6.例文帳に追加

その予備的な膜は細孔を持ち、誘電率が２．６未満である多孔質膜を得るために、実質的にすべてのポロゲンを除去される。 - 特許庁

Then, gaseous reagent containing precursor and porogens chosen from a group comprising organosilane and organosiloxane is introduced to a vacuum chamber, energy is added to the gaseous reagent to produce the reaction of the gaseous reagent, and a preparative film is accumulated on a substrate.例文帳に追加

オルガノシランおよびオルガノシロキサンからなる群より選ばれる前駆体ならびにポロゲンを含むガス状試薬を真空チャンバに導入し、ガス状試薬にエネルギーを加え、ガス状試薬の反応を生じさせて基体上に予備的な膜を堆積させる。 - 特許庁