position correction gridとは 意味・読み方・使い方

A correction jig having mounting holes corresponding to correction pins and grid squares is prepared, the correction pin is set at a square position requiring correction, and pressure is applied to correct warping of the substrate.例文帳に追加

そして、矯正ピンと格子に対応した取付け穴を有する矯正治具を用意して、矯正を要する格子の位置に矯正ピンをセットして圧力を加えることにより基板の反りを矯正する。 - 特許庁

Successively, at a step 322, on the basis of the wafer grid derived from the process and the correction map stored by in accordance with the degree of the wafer grid derived from the process, the superposition exposure is performed by correcting a relative position in a two-dimensional plane of an image of a pattern on reticle, and a wafer.例文帳に追加

そして、ステップ３２２では、プロセスに起因のウエハグリッドと、そのプロセスに起因するウエハグリッドの次数と対応付けされて記憶され補正マップとに基づいて、レチクル上のパターンの像とウエハとの２次元平面内の相対位置を補正しつつ、重ね合わせ露光を行う。 - 特許庁

The correction means, having data concerning to the irradiating position deviation of the processing laser beam and the guide light laser beam related to plural prescribed scanning positions on the processing surface, (for example, a grid point of a rectangular coordinate system is arranged on the processing surface) is comprised of correcting the irradiation position deviation using the data.例文帳に追加

補正手段は、一例として加工平面上の複数の特定のスキャン位置（例えば加工平面上に設定した直交座標系の格子点）に関する加工用レーザビームとガイド光レーザビームの照射位置の位置ずれに関するデータを有し、該データを用いて前記補正を行うように構成する。 - 特許庁

In this substrate warping correction method, a substrate is divided like a grid, the number of measuring pins to be provided in one square is calculated, and a position where warping of the substrate is corrected is obtained by taking the number and mounting positions of parts into account in measurement of in-circuit tester when the substrate sucked to bring the measuring pins into contact with it stably.例文帳に追加

インサーキットテスタ測定時に、基板を吸引して安定して測定ピンを接触させるようにするときにおいて、基板を格子状に区切って、その一格子内に設置される測定ピンの本数を計算し、その本数と部品の実装位置を考慮して、基板の反りの矯正する位置をもとめる。 - 特許庁