psp3とは 意味・読み方・使い方

Respective blocks are arranged from planning start positions PSP1 to PSP3 according to a recipe.例文帳に追加

計画開始位置ＰＳＰ１〜ＰＳＰ３から、レシピに基づいて各ブロックを配置する。 - 特許庁

A control unit starts arranging the blocks in the order of temporally earlier lots at the planning start positions PSP1 and PSP3 including the adjusted planning start position MSP2.例文帳に追加

制御部は、調整計画開始位置ＭＳＰ２を含む計画開始位置ＰＳＰ１，３の時間的に早いロットの順に、ブロックの配置を開始する。 - 特許庁

Consequently, overtaking is performed in which a third lot employing a recipe for performing short-time processing without changing the planning start position PSP3 is scheduled to be arranged temporally before the second lot at the adjusted planning start position MSP2, thereby improving the processing efficiency of the substrate processing apparatus.例文帳に追加

これにより、計画開始位置ＰＳＰ３のままの短時間の処理を行うレシピを採用した第３のロットを、調整計画開始位置ＭＳＰ２の第２のロットよりも時間的に前に配置してスケジュールする追い越しができ、基板処理装置における処理効率を向上できる。 - 特許庁