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pfc ratioとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 PFC比率
「pfc ratio」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 3件
The decomposition ratio of the PFC gas is enhanced to efficiently decompose the PFC gas.例文帳に追加
これにより、ＰＦＣガスの分解率を向上させてより効率良くＰＦＣガスを分解できる。 - 特許庁
To provide a PFC decomposition method which enables more efficient decomposition of a PFC gas by enhancing the decomposition ratio of the PFC gas, a PFC decomposition apparatus and a method for manufacturing a semiconductor device.例文帳に追加
ＰＦＣガスの分解率を向上させてより効率良くＰＦＣガスを分解できるＰＦＣ分解方法、ＰＦＣ分解装置及び半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁
To decompose hardly decomposable gases such as PFC with a decomposition ratio improved without unnecessarily making the decomposition temperature high.例文帳に追加
ＰＦＣガス等の難分解性フロンガスを分解温度を必要以上高くすることなく、分解率を向上させて分解する。 - 特許庁
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PFC比率
JST科学技術用語日英対訳辞書
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