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radiation dry indexとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 放射乾燥指数
「radiation dry index」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
Compositions characterized by the presence of an aqueous base-soluble polymer having aromatic part and a refractive index value n of less than 1.5 with respect to a radiation wavelength of 193 nm have been found to be especially useful as top antireflective coatings in 193 nm dry lithographic processes.例文帳に追加
芳香族部分及び１９３ｎｍの放射波長に対して１．５未満の屈折率値ｎを有する、塩基水溶液に可溶なポリマーの存在を特徴とする組成物は、１９３ｎｍドライ・リソグラフィ工程における上面反射防止コーティングとして特に有用であることを見出した。 - 特許庁
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