radical irradiationとは 意味・読み方・使い方

To provide a simple method for knowing an amount of radical irradiation onto a surface of a test object.例文帳に追加

試験対象物表面へのラジカルが照射量を簡便に知る方法を提供すること。 - 特許庁

A hydrogen gas is mode to flow to a discharge chamber 56, electric discharge is caused by a radical source, and a hydrogen radical is supplied into a laser irradiation chamber 50 through a radial transport pipe 55.例文帳に追加

放電室５６に水素ガスを流し、ラジカル源で放電し、水素ラジカルをラジカル移送管５５を通してレーザー照射室５０内に供給する。 - 特許庁

A gas having a property for producing a free radical by the irradiation of light may be used instead of the chlorine.例文帳に追加

塩素に替えて光照射によってラジカルを生成する性質を有する気体を用いてもよい。 - 特許庁

To provide an ultraviolet irradiation device for gas which produces a high concentration of ultraviolet-irradiated gas such as ozone and radical oxygen, and to provide a dry surface treatment device using the ultraviolet irradiation device.例文帳に追加

オゾンやラジカル酸素等、高濃度の紫外線照射済ガスを生成するガス用紫外線照射装置と、該装置を用いたドライ表面処理装置。 - 特許庁

Then, reactive gas existing on the surface of the substrate W becomes radical by irradiation of the ultraviolet rays L, and, by the radical, the surface of the substrate W is etched.例文帳に追加

そして、基板Ｗの表面に存在する反応性ガスが紫外光Ｌの照射によってラジカルとなり、このラジカルにより、基板Ｗの表面をエッチングする。 - 特許庁

The method of cleaning the UV irradiation chamber comprises (i) a step of generating a radical species of a cleaning gas outside the UV irradiation chamber after completing irradiation of a substrate with an UV light passing through a light transmissive window installed on the UV irradiation chamber and (ii) a step of cleaning the light transmissive window by introducing the radical species generated outside the UV irradiation chamber into the UV irradiation chamber.例文帳に追加

ＵＶ照射チャンバーをクリーニングする方法は、（ｉ）ＵＶ照射チャンバーに設けられた光透過窓を透過したＵＶ光で基板を照射することを完了した後に、ＵＶ照射チャンバー外でクリーニングガスのラジカル種を発生させる工程と、（ii）ＵＶ照射チャンバーの外部からＵＶ照射チャンバー内へラジカル種を導入することによって、光透過窓をクリーニングする工程とを備える。 - 特許庁

To provide a method for producing 4-(tribromomethylsulfonyl) benzophenone having the ability to generate radical by light irradiation.例文帳に追加

光照射によりラジカルを発生する能力を有する４−（トリブロモメチルスルホニル）ベンゾフェノンの製造方法を提供する。 - 特許庁

Furthermore, the particle is composed of a solid particle obtained by mixing a photo-radical generator generating radicals under light irradiation, a radical decoloring dye decolored with the radicals and the polymer.例文帳に追加

あるいは、光の照射によってラジカルが発生する光ラジカル発生剤と、ラジカルによって色が消えるラジカル消色色素と、高分子とが混合された固体粒子からなる。 - 特許庁