s loとは 意味・読み方・使い方

Then, the ozone water Lo generated in the pressurized gaseous ozone atmosphere from the nozzle 5 is supplied to the surface of the substrate S held in the pressure atmosphere in the chamber 1 to treat the surface of the substrate S.例文帳に追加

そして、加圧処理室１の加圧雰囲気内に保持された基板Ｓの表面に、オゾン水ノズル５から加圧オゾンガス雰囲気で生成されたオゾン水Ｌｏを供給して基板Ｓの表面を処理する。 - 特許庁

Thus, the primary mixing position of the ozone water Lo and the hydrogen peroxide water Lh is scanned in the whole area of the surface Sa of the substrate S to obtain a uniform treating effect.例文帳に追加

これによって、オゾン水Ｌｏと過酸化水素水Ｌｈとの初期の混合位置を基板Ｓの表面Ｓａ全域で走査させ、均一な処理効果を得る。 - 特許庁

In this case, the supplying position of at least one of the ozone water Lo and the hydrogen peroxide water Lh is scanned extending from the center of rotation to the periphery with respect to the substrate S rotated in a nearly horizontal state.例文帳に追加

この際、略水平に保って回転させた基板Ｓに対して、オゾン水Ｌｏおよび過酸化水素水Ｌｈの少なくとも一方の供給位置を当該基板の回転中心から周縁に亘って走査させる。 - 特許庁

The substrate processor for treating the surface of a substrate S with ozone water Lo is provided with a pressurizing treatment chamber 1 having pressure atmosphere kept inside of it, and an ozone water nozzle 5 for feeding ozone water generated in the pressurized gaseous ozone atmosphere to the surface of the substrate S housed in the chamber 1.例文帳に追加

基板Ｓの表面をオゾン水Ｌｏによって処理するための基板処理装置であって、内部が加圧雰囲気に保たれる加圧処理室１と、加圧処理室１内に収納された基板Ｓの表面に、加圧オゾンガス雰囲気で生成されたオゾン水Ｌｏを供給するオゾン水ノズル５とを備えている。 - 特許庁

The plurality of squish flows K collide with one another at the upper-half central portion Uo of the basin type combustion chamber 3 to produce turbulence and the plurality of swirl flows S collide with one another at the lower-half central portion Lo of the basin type combustion chamber 3 to produce turbulence.例文帳に追加

上記複数のスキッシュ流Ｋは深皿型燃焼室３の上半中央部Ｕｏで互いに衝突して乱流を発生し、上記複数のスワール流Ｓは深皿型燃焼室３の下半中央部Ｌｏで互いに衝突して乱流を発生する。 - 特許庁

When the capacity of a history list Li in a tamper-proof device is short, history information is saved to an external list Lo in an external storage device, and saving records S for guaranteeing the contents and order of the history information to be saved are generated and stored by using uni-directional functions in the tamper-proof device.例文帳に追加

耐タンパ装置内の履歴リストＬｉの容量が不足した場合に履歴情報を外部記憶装置内の外部リストＬｏに退避するするとともに、退避する履歴情報の内容と順番を保証する退避記録Ｓを耐タンパ装置内で一方向性関数を用いて生成し保持する。 - 特許庁

An operation range is determined on the basis of the engine speed Ne and the engine load Lo (S3), and a stratified charge combustion mode is selected in the low-rotation and low-load range (S4), and a self-ignition control combustion mode is selected in a medium load range (S), and an even combustion mode is selected in a high-load range (S7).例文帳に追加

エンジン回転速度Ｎｅとエンジン負荷Ｌｏとに基づき運転領域を判定し(S3)、低回転低負荷領域にあるときは成層燃焼モードを選択し(S4)、中負荷領域にあるときは自着火制御燃焼モードを選択し(S6)、高負荷領域にあるときは均一燃焼モードを選択する(S7)。 - 特許庁