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spin rotatorとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 スピン回転装置
「spin rotator」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
The treating apparatus 1 having a halogen lamp 16 for heating a mounted semiconductor substrate 30 comprises a guard ring 21 supporting a semiconductor substrate 30 at least at three points and a rotator 24 for revolving the guard ring 21 to spin the substrate 30 in a specified plane while the halogen lamp 16 is heating the substrate 30 mounted on the guard ring 21.例文帳に追加
装着された半導体基板３０を加熱するハロゲンランプ１６を含む熱処理装置１であって、半導体基板３０を少なくとも三点で支持するガードリング２１と、ハロゲンランプ１６がガードリング２１に装着された半導体基板３０を加熱する間、所定の面内において半導体基板３０が回転するようガードリング２１を回転させる回転部２４とを備えたことを特徴とする熱処理装置を提供する。 - 特許庁
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