spin shaftとは 意味・読み方・使い方

A holding means is provided around the rotation center of the spin rotary shaft 82 for holding the cassette.例文帳に追加

このスピン回転軸82の回転中心の周囲にカセット１を保持する保持手段100を設ける。 - 特許庁

This base board carrying device has a base 10, a base board placing unit 20, and a spin shaft unit 30.例文帳に追加

基板搬送装置は、ベース１０と、基板載置ユニット２０と、スピン軸ユニット３０と、を備える。 - 特許庁

The work support device has the spin chuck 1 and a stopper 21 mounted on the shaft 11 inserting the spin chuck 1, and resistant elements 31 in which the spin chuck 1 is detected to be inserted up to the prescribed position of the shaft 11 by changing a degree of insertion resistance are provided on the spin chuck 1 and the stopper 21.例文帳に追加

スピンチャック１と、このスピンチャック１を挿入する軸１１に装着されるストッパー２１とを有し、スピンチャック１が軸１１の所定位置まで挿入されたことを挿入抵抗の大きさが変化することにより感知させる抵抗要素３１をスピンチャック１およびストッパー２１に設けることにした。 - 特許庁

To provide a spin chuck 1 which can secure a very precise squareness between a wafer chucking face 11 and a rotary shaft 4 such as a motor shaft.例文帳に追加

ウエハ吸着面１１とモーターシャフト等の回転シャフト４との直角度を高精度に確保することが可能なスピンチャック１を提供する。 - 特許庁

To provide a spin coater which suppress an increase of size of the bearing of a rotary shaft while supporting a large-sized spin table so as to be stably rotatable, and can be manufactured at a low cost.例文帳に追加

大型のスピンテーブルを安定して回転可能に支持しつつ、回転軸の軸受の大型化を抑制しかつ安価に製造できるスピンコーターを提供する。 - 特許庁

A regulating member 41 to regulate a rotational range of a cam shaft 21 is formed between a spin body 27 of a roll-on capper head 1 and a cam arm 23 swingably fitted to the spin body 27 via the cam shaft 21 or between the spin body 27 and a roller lever 22.例文帳に追加

前記ロールオンキャッパーヘッド１のスピンボディ２７とそのスピンボディ２７にカムシャフト２１を介して揺動可能に取りつけられているカムアーム２３との間もしくはスピンボディ２７とローラレバー２２との間にカムシャフト２１の回転範囲を規制する規制部材４１が形成されているようになっている。 - 特許庁

Further, there are provided a roller shaft torque meter 5 which detects spin torque (in a torsional direction) on the roller shaft 3, and a roller revolution meter 6 which detects the revolution speed of the roller shaft 3.例文帳に追加

また、ローラシャフト３に加わる軸回り（捻れ方向）のトルクを検出するローラ軸トルク計５、ローラシャフト３の回転速度を検出するローラ回転計６が設けられている。 - 特許庁

The spin motor 15 can be rotates about the vertical axis, and the air cylinder shaft 19 can be moved vertically.例文帳に追加

スピンモータ１５は鉛直軸まわりに回転可能であり，エアシリンダ軸１９は上下方向に移動可能である。 - 特許庁