spindle orientation deviceとは 意味・読み方・使い方

PERFORMANCE INSPECTION DEVICE OF SPINDLE ORIENTATION SENSOR例文帳に追加

主軸オリエンテーションセンサーの性能検査装置 - 特許庁

To provide a performance inspection device of a spindle orientation sensor, capable of easily and reliably inspecting performance of a spindle orientation sensor.例文帳に追加

主軸オリエンテーションセンサーの性能を容易に、かつ、確実に検査することができる主軸オリエンテーションセンサーの性能検査装置を提供する。 - 特許庁

When a hand of the conveying device holds the wafer 100 from upside in a suspended form and delivers a Bernoulli disk 30 to the wafer aligning device 1, this Bernoulli disk 30 holds the wafer 100 with an adjoining isolation and rotates the spindle 45 in the state of touching the wafer 100 by means of the clampers 41 to 43, and consequently the notch and the orientation flat are detected by the sensor portion 6.例文帳に追加

搬送装置のハンドがウェハ１００をその上面から懸垂保持してベルヌーイ円盤３０をウェハ位置合わせ装置１に受け渡すと、このベルヌーイ円盤３０はウェハ１００を近接隔離して保持し、かつクランパ４１〜４３でウェハ１００に当接した状態でスピンドル４５を回転させ、センサ部６でノッチやオリフラを検出する。 - 特許庁