suspecterとは 意味・読み方・使い方

Thus, the change of the electric characteristics of the device is prevented and simultaneously the electrostatic attraction of the wafer W to the suspecter 5 at a process finishing time can be sufficiently alleviated.例文帳に追加

これにより、デバイスの電気的特性の変動を防止すると同時に、プロセス終了時点でのＳｉウェハＷとサセプタ５との静電吸着を十分に緩和できる。 - 特許庁

In this case, prior to real processing, a relationship between the characteristic change of the device formed on the wafer and a shape parameter of the suscepter 5 is previously acquired, and the suspecter 5 brought into contact with a contact density of, for example, 0.01-1.6% with the wafer in number of, for example, 3-200 pieces of dimples 5b is selectively used.例文帳に追加

この際、実処理に先立って、Ｓｉウェハ上に形成されるデバイスの特性変動と、サセプタ５の形状パラメータとの関係を予め取得しておき、その関係に基づいて、例えばディンプル５ｂの数が３〜２００個で、Ｓｉウェハに対して例えば０．０１〜１．６％の接触密度で接するようなサセプタ５を選択的に用いる。 - 特許庁