subproductとは 意味・読み方・使い方

This sterilization step eliminates a need of use of such agents as a antibacterial agent or germicide, so that no agent or subproduct remains on the base paper.例文帳に追加

本発明によれば、抗菌剤や殺菌剤などの薬剤を使用することがないので、原紙に薬剤や副生成物が残留することがない。 - 特許庁

To reduce generation of particles by restraining sticking of subproduct formed during PH_3anneal of a wafer on a discharge system, and also to reduce maintenance down time of equipment.例文帳に追加

ウェハのＰＨ_3アニール中に生成される副生成物の排気系への付着を抑制して、パーティクルの発生を低減させると共に、装置のメンテナンスダウンタイムを低減させる。 - 特許庁

Furthermore, the subproduct is selectively deposited on the substrate of a low temperature so as not to be stuck inside the chamber of the dry etching device, thereby avoiding maintenance cycle reduction caused by atmospheric variations and particle generation that is the demerit when using depository production gases.例文帳に追加

また、副生成物は温度の低い基板へ選択的に堆積するためドライエッチング装置のチャンバー内には付着せず、デポ生成ガスを使用した場合のデメリットである、雰囲気変動およびパーティクルの発生による、メンテサイクルの短命化を回避できる。 - 特許庁

Since overcooling of the manifold 26 and the seal cap can be prevented while cooling both seal rings 18 and 55 with cooling water 46 from the lower water guide pipe 36 and the upper water guide pipe 41, impairment of seal ring and adhesion of subproduct can be prevented.例文帳に追加

下側導水管３６と上側導水管４１との冷却水４６により両方のシールリング１８、５５を冷却しつつ、マニホールド２６とシールキャップの過冷却を防止できるので、シールリングの劣化防止と副生成物の付着防止とを達成できる。 - 特許庁

By performing dry etching in a dry etching step, while controlling the temperature of the lower electrode of an etching device equal with or lower than 10°C, volatilization of a subproduct is suppressed, more stable sidewall protection effect can be obtained, and a uniform etching shape reducing the working shape difference between a coarse portion and a tight portion can be obtained.例文帳に追加

前記ドライエッチング工程にて、エッチング装置の下部電極温度を１０℃以下に制御しドライエッチングを行うことにより、副生成物の揮発を抑制し、より安定した側壁保護効果が得られ、疎部、密部における加工形状差の少ない均一なエッチング形状が得られる。 - 特許庁