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synchrotron X radiationとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 シンクロトロンX線放射
「synchrotron X radiation」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 10件
DEVICE AND METHOD FOR EXPOSURE TO X-RAY, X-RAY MASK, X- RAY MIRROR SYNCHROTRON RADIATION DEVICE, METHOD FOR SYNCHROTRON RADIATION AN SEMICONDUCTOR DEVICE例文帳に追加
Ｘ線露光装置、Ｘ線露光方法、Ｘ線マスク、Ｘ線ミラー、シンクロトロン放射装置、シンクロトロン放射方法および半導体装置 - 特許庁
To provide an Si monochromator having excellent cooling performance and X-ray diffraction characteristics which can be applied even to a large-sized synchrotron radiation facility, and a method of manufacturing the same.例文帳に追加
優れた冷却性能およびＸ線回折特性を有し、大型の放射光設備でも適用可能なＳｉモノクロメータおよびその製造方法を得る。 - 特許庁
High intensity synchrotron radiation monochromatized according to a desirable aspect ratio of a space is used, and a masking material 5 is selected so that monochromatized X-ray becomes K or L absorption edge.例文帳に追加
スペーサーの所望のアスペクト比に応じて単色化した高輝度シンクロトロン放射光を用い、マスク材料５は単色化されたＸ線がＫあるいはＬ吸収端となるように選ぶ。 - 特許庁
To provide a radiation sensitive resin composition which can be advantageously used as a resist for the production of an integrated circuit supposed to be made minuter in future by making the composition adaptable to any radiation, e.g. X-rays such as synchrotron radiation or charged corpuscular radiation such as electron beams besides far UV such as excimer laser light.例文帳に追加
エキシマレーザーなどの遠紫外線以外にも、シンクロトロン放射線などのＸ線、電子線などの荷電粒子線といった、放射線のいずれにも対応できるので、今後さらに微細化が進行すると予想される集積回路製造用のレジストとして有利に使用できる感放射線性樹脂組成物を提供すること。 - 特許庁
X rays called synchrotron radiation and visible rays are generated through the meandering of an electron beam e^- when it passes between pairs of magnets 25a and 25b constituting an insertion light source 22 in an accelerator 21.例文帳に追加
加速器２１内の挿入光源２２を構成する複数対の磁石２５ａ、２５ｂ間を電子ビームｅ^-が通過する際電子ビームｅ^-が蛇行してシンクロトロンと呼ばれるＸ線や可視光が発生する。 - 特許庁
To obtain both a new polymer useful for preparing a resist suitable for fine processing by using various kinds of radiations, for example, KrF excimer laser or ArF excimer laser, X-rays such as synchrotron radiation, and a charged particle beam such as e-beam, and a resist composition containing the polymer.例文帳に追加
KrFエキシマーレーザーまたはArFエキシマーレーザー、シンクロトロン放射線などのX-線及び電子線(e-beam)などの荷電粒子線のような各種放射線を用いて微細加工に有用なレジストを調剤するに使用することができる新規重合体及びこれを含有するレジスト組成物を提供する。 - 特許庁
The window foil 4 is fixed on a window frame 5 and a synchrotron radiant light source 1 is provided, so that it can be scanned in the direction vertical with respect to the radiation track surface of the light source 1 by an X-ray window scanning driving unit 11 connected with the window frame 5 via a transfer means 12.例文帳に追加
Ｘ線窓箔４は窓枠５で固定され、窓枠５に伝達手段１２を介して接続したＸ線窓走査駆動装置１１により、シンクロトロン放射光源１の放射軌道面に対して垂直方向に走査可能になっている。 - 特許庁
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「synchrotron X radiation」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 10件
To provide a beam position monitor capable of measuring highly accurately the center position of a high energy beam such as a large-output synchrotron radiation, excimer laser light and an X-ray, and operating stably for a long period, and manufacturable at lower cost than a conventional one, and a beam position measuring method.例文帳に追加
大出力の放射光、エキシマレーザ光及びＸ線等の高エネルギービームの中心位置を高精度で測定することができ、長期間安定して動作すると共に、従来品よりも低コストで製造することができるビーム位置モニタ及びビーム位置測定方法を提供する。 - 特許庁
The resin composition has a feature that the cured products thereof have the scattering profile having at least one singular point structure within a range of 0.02-1 [nm^-1] scattering vector q size, when obtaining the scattering profile by small angle X-ray scattering using synchrotron radiation.例文帳に追加
そして、この樹脂組成物は、その硬化物について、シンクロトロン放射光を用いた小角Ｘ線散乱による散乱プロファイルを取得したとき、散乱プロファイルが、散乱ベクトルｑの大きさが０．０２〜１［ｎｍ^−１］の範囲内に少なくとも１つの特異点構造を有しているという特徴を有するものである。 - 特許庁
To provide a radiation-sensitive composition which effectively sensitizes (extremely) far ultraviolet rays such as KrF excimer laser, ArF excimer laser, or EUV, X-rays such as synchrotron radiations, and electron beams, has excellent sensitivity, and can form chemical amplification type positive resist films capable of high precisely and stably forming fine patterns.例文帳に追加
ＫｒＦエキシマレーザー、ＡｒＦエキシマレーザー、ＥＵＶ等の（極）遠紫外線、シンクロトロン放射線等のＸ線、電子線に有効に感応し、感度に優れ、微細パターンを高精度に且つ安定して形成可能な化学増幅型ポジ型レジスト膜を成膜することができる感放射線性組成物を提供すること。 - 特許庁
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