shadow reactionとは 意味・読み方・使い方

The shadow ring 40 is arranged in the reaction chamber 10 and positioned above the stage 30.例文帳に追加

シャドーリング４０は、反応室１０内に配置されており、ステージ３０の上方に位置している。 - 特許庁

An etching device includes a reaction chamber 10, an electrode 20, a stage 30, and a shadow ring 40.例文帳に追加

本発明にかかるエッチング装置は、反応室１０、電極２０、ステージ３０、及びシャドーリング４０を備える。 - 特許庁

To provide a method for manufacturing a shadow mask which is capable of preventing the occurrence of variations in the pattern dimensions of a resist film after development processing in consequence of the differences in the degrees of progression of the dark reaction and residual reaction in the resist film along the longitudinal direction of a long-sized metallic thin film which is a shadow mask blank.例文帳に追加

シャドウマスク素材である長尺の金属薄板の長手方向に沿ったレジスト膜中の暗反応及び残反応の進行度合いの差に起因して、現像処理後のレジスト膜のパターン寸法にばらつきが発生することを防止できるシャドウマスクの製造方法を提供する。 - 特許庁