side etchとは 意味・読み方・使い方

Tapered protrusions 20 by a side etch phenomenon is formed at a spot where the through-hole 11a is photo-etched.例文帳に追加

貫通孔１１ａがフォトエッチングされた箇所には、サイドエッチ現象によるテーパー状の突起２０が形成される。 - 特許庁

The conductivity of the thin film on the side wall is enhanced by ion bombardment carried out periodically during the etch process.例文帳に追加

側壁上の薄膜の導電性はエッチ処理中に周期的に行うイオン衝突により増強される。 - 特許庁

To obtain a shape without skirt trailing and side etch while preventing the penetration through a base oxide film upon dry etching of polysilicon.例文帳に追加

ポリシリコンのドライエッチング時に、下地酸化膜の突き抜けを防止しながら、スソ引き及びサイドエッチの無い形状を得る。 - 特許庁

To prevent side etch formation due to fluorine compounds (CFX) generated during barrier insulating film etching.例文帳に追加

バリア絶縁膜をエッチングする際にフッ素化合物（ＣＦ_X）が生成され、それが原因でサイドエッチが形成されることを防止する。 - 特許庁

The manufacturing method has a GP etch processing for forming the gate electrode of a MOS transistor, a SW etch processing for forming sidewalls in the side walls of the gate electrode, and an anneal processing for performing an anneal processing, after forming the gate electrode and the side walls.例文帳に追加

ＭＯＳトランジスタのゲート電極を形成するＧＰエッチ処理工程と、ゲート電極の側壁にサイドウォールを形成するＳＷエッチ処理工程と、ゲート電極およびサイドウォールの形成後にアニール処理を行うアニール処理工程とを有している。 - 特許庁

There is provided an etch resistant liner which covers a side wall of a transistor gate stack and resides along a part of a substrate at a lower part of the transistor gate stack.例文帳に追加

トランジスタ・ゲート・スタックの側壁を覆い、トランジスタ・ゲート・スタックの下部の基板の一部分に沿ったエッチ耐性ライナを設ける。 - 特許庁

To pattern a comparatively thick ITO thin film, which was formed by room temperature film formation on a flexible board, through etching without causing residue or side etch.例文帳に追加

フレキシブル基板上に室温成膜した比較的厚いＩＴＯ薄膜をエッチングにより残渣やサイドエッチなくパターニングすること。 - 特許庁

To improve the etching efficiency and reliability of an etching device for silicon wafer by constituting the device in such a way that the device can etch the rear surface side of a silicon wafer while the device etches the front surface side of the wafer.例文帳に追加

シリコンウエハの表側面をシールしつつ裏側面にエッチングを施す構成とすることにより、エッチング処理の効率化、信頼性の向上を図る。 - 特許庁