simulation irradiationとは 意味・読み方・使い方

A lithographic simulation process is described, where each irradiation source point in a preselected group of irradiation source points at a pupil plane of an irradiation source is represented by one or more variable parameters, and at least some of the variable parameters characterize a polarization state at the radiation source point.例文帳に追加

照射源の瞳面における照射源ポイントのあらかじめ選択された群の各照射源ポイントが、１つまたは複数の可変パラメータによって表され、可変パラメータのうちの少なくともいくつかが、照射源ポイントにおける偏光状態を特徴づける、リソグラフィのシミュレーションプロセスが説明される。 - 特許庁

To provide a grinding simulation method for producing a shape with high accuracy even if a range of projections existing on the surface of a workpiece is larger than the irradiation area of an ion beam.例文帳に追加

被加工物の表面に存在する突起の範囲がイオンビームの照射面積より大きい場合であっても、高い形状精度で形状を創成するための研磨加工シミュレーション方法を提供すること。 - 特許庁

The pattern measuring device carries out exposure simulation on data of outlining the pattern edges of a first mask image and a second mask image formed based on charged particle beam irradiation on two masks used for double exposure, and superposes two outlines to which exposure simulation is performed, based on coordinate information of design data of the masks.例文帳に追加

上記目的を達成するために、以下に二重露光に用いられる２つのマスクに対する荷電粒子ビーム照射に基づいて、形成される第１のマスク画像と、第２マスク画像のパターンエッジを輪郭線化したデータについて、露光シミュレーションを実行し、当該露光シミュレーションが行われた２つの輪郭線を、前記マスクの設計データの座標情報に基づいて、重ね合わせるパターン測定装置を提案する。 - 特許庁

To provide an X-ray positioning device adapted to determine the X-ray irradiation direction and a radiation field by simulation prior to X-ray treatment, improving the work efficiency by simply forming a mark for visually confirming the range and position of a diseased part on a subject.例文帳に追加

Ｘ線治療に先立ってＸ線の照射方向や照射野をシミュレーションして決定するＸ線位置決め装置に関し、被検体上に患部の範囲及び位置を視認できるマークを簡便に形成できるようにして作業効率を向上させる技術を提供する。 - 特許庁

A driving simulator that simulates driving of a motor vehicle is provided with illuminating means that irradiates one or both of the inside of the vehicle and the operator's field of view with illuminating light, and control means that instructs the illuminating means to perform irradiation with illuminating light in a form suitable for a given scenario of the simulation of driving.例文帳に追加

自動車の運転を模擬する運転模擬装置であって、前記自動車の内部と操作者の視界との双方もしくは何れか一方に照明光を照射する照明手段と、前記運転の模擬のシナリオに適した形態による前記照明光の照射を前記照明手段に指示する制御手段とを備る。 - 特許庁

A simulation apparatus includes an aggregation energy calculating section for calculating aggregation energy of the material, an internal energy difference calculating section for calculating the difference in internal energy of the material before and after the material is irradiated with the pulse laser having a predetermined waveform and an intensity, and a determination section for determining whether the material can be decomposed by irradiation with the pulse laser, based on the difference in the internal energy and the aggregation energy.例文帳に追加

シミュレーション装置は、物質の凝集エネルギーを計算する凝集エネルギー計算部と、物質に所定の波形と強度を有するパルスレーザを照射する前後における物質の内部エネルギーの差を計算する内部エネルギー差計算部と、内部エネルギーの差と凝集エネルギーに基づいて、パルスレーザの照射による物質の分解の可否を判定する判定部と、を備えている。 - 特許庁

Consequently, compared with a case of performing predicting calculation of irradiation fluctuation of image forming performance of the optical system using a predictive calculation formula fixed based on a simulation result etc. carried out concerning a reference pattern like a conventional case, the adjustment data of optical characteristic of the optical system can be calculated more precisely, so that the optical characteristic of the optical system can be adjusted precisely.例文帳に追加

従って、従来のように基準パターンについて行ったシミュレーション結果等に基づいて定められた予測演算式を用いて光学系の結像性能の照射変動の予測演算を行う場合に比べて、より精度の高い光学系の光学特性の調整データの算出、ひいては、光学系の光学特性の高精度な調整が可能になる。 - 特許庁