transgranularとは 意味・読み方・使い方

The plasma process device chamber member is formed of an aluminum nitride sintered body whose porosity is 1% or less and whose torn face shows quality of transgranular fracture.例文帳に追加

気孔率が１％以下で、かつ、破断面が粒内破壊の性状を呈する窒化アルミニウム焼結体からなることを特徴とするプラズマプロセス装置用チャンバー部材。 - 特許庁

The low dusting type aluminum nitride comprises the sintered aluminum nitride compact member which is used for the member to be exposed to the halogen plasma of a semiconductor manufacturing apparatus and in which ≥40% of the surface of the member to be exposed to the halogen plasma is formed by the transgranular fracture.例文帳に追加

半導体製造装置のハロゲンプラズマに曝される部材に用いられる窒化アルミニウム焼結体部材であって、該部材のハロゲンプラズマに曝される面の４０％以上が粒内破壊によって生成されたものである低発塵性窒化アルミニウムである。 - 特許庁

The electrostatic chuck comprises a dielectric layer formed by aluminum nitride sintered compacts of which the volume resistivity at an application temperature is ≥1×10^8 Ωcm and ≤1×10^13 Ωcm, the grain boundary volume resistivity is ≤1/10^2 of transgranular volume resistivity, and the impurity is ≤3 atom% and a face-like electrode formed on one surface of the dielectric layer.例文帳に追加

使用温度における体積抵抗率が１×１０^8Ωcm以上１×１０^13Ωcm以下であり、結晶粒界体積抵抗率が、粒内体積抵抗率の１/１０^2以下であり、不純物が３atom％以下の窒化アルミニウム焼結体で形成された誘電体層と、誘電体層の一方の面に形成された面状の電極とを有する静電チャックである。 - 特許庁

In the microstructure of the heat affected zone in the high strength steel for bridges having excellent HZA toughness and weather resistance, the average grain size of old γ grains is ≤200 μm, and the ratio of γgrains containing 3 pieces or more of transgranular ferrite having the single or blended deposition grains of sulfide and nitride with MgO or Mg-containing oxide as nuclei is ≥30% in the whole γ grain.例文帳に追加

溶接熱影響部のミクロ組織において、旧γ粒の平均粒径が２００μｍ以下で、全γ粒のうち、粒内にＭｇＯまたはＭｇ含有酸化物を核にした硫化物および窒化物の単独または複合析出粒子を核にした粒内フェライトが３個以上有するγ粒が３０％以上である溶接ＨＡＺ靱性および耐候性に優れた橋梁用高強度鋼。 - 特許庁