thermal oxidation methodとは 意味・読み方・使い方

Afterwards, the silicon oxide films 10, 10a are formed by thermal oxidation method.例文帳に追加

その後、熱酸化法によりシリコン酸化膜１０，１０ａを形成する。 - 特許庁

The gate insulating film is formed by a thermal oxidation method by using dry oxygen.例文帳に追加

また、ゲート絶縁膜を乾燥酸素を用いた熱酸化法で形成する。 - 特許庁

The method also comprises steps of removing the film 7, and forming a gate insulating film by a thermal oxidation method.例文帳に追加

次に、絶縁膜７を除去し、熱酸化法によりゲート絶縁膜を形成する。 - 特許庁

After the wiring is formed, an oxygen plasma treating method and a thermal oxidation treating method are used.例文帳に追加

また、配線形成後、酸素プラズマ処理する方法と、熱酸化処理する方法を用いる。 - 特許庁

METHOD OF IMPROVING OXIDATION RESISTANCE OF METALLIC BASE MATERIAL COATED WITH THERMAL BARRIER COATING例文帳に追加

遮熱皮膜で被覆された金属基材の耐酸化性を改善する方法 - 特許庁

To provide a method for forming a thermal oxidation film which can improve an uniformity of a thermal oxidation film by decreasing a roughness on a surface of the thermal oxidation film, and also to provide a method for manufacturing a semiconductor device using the film.例文帳に追加

熱酸化膜表面の粗さを減少させることにより、熱酸化膜の膜厚均一性を向上させることができる熱酸化膜の形成方法及びそれを用いた半導体装置の製造方法を提供する。 - 特許庁

OXIDATION-RESISTANT FILM AND ITS DEPOSITION METHOD, THERMAL BARRIER COATING, HEAT-RESISTANT MEMBER, AND GAS TURBINE例文帳に追加

耐酸化膜及びその形成方法、遮熱コーティング、耐熱部材、及びガスタービン - 特許庁

To provide a setting technique for thermal oxidation conditions by which a high process capability is obtained even when the atmospheric pressure changes, regarding a method for forming a thermal oxide film and a thermal oxidation device.例文帳に追加

熱酸化膜の形成方法及び熱酸化装置に関し、大気圧が変動した場合にも高い工程能力が得られる熱酸化条件の設定手法を提供する。 - 特許庁