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waberとは 意味・読み方・使い方
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「waber」を含む例文一覧
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To relatively move a grinding wheel and a wafer at least in a direction along a rotation axis of the waber without generation of vibration to improve machining accuracy of a grind face of the wafer.例文帳に追加
砥石とウエーハとを少なくともウエーハの回転軸線に沿ったＺ方向へ、振動が発生することなく相対移動させることができて、ウエーハの研削面の加工精度を向上させることができるウエーハのエッジ研削装置を提供する。 - 特許庁
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