wf-4とは 意味・読み方・使い方

Consequently, the semiconductor wafer WF housed in the process tube 4 can be heated so that the temperature of the wafer WF may become uniform by making the moving speed of the heater 17 slower in a low-temperature section and faster in a high-temperature section in the tube 4.例文帳に追加

移動式ヒータ１７の移動速度をプロセスチューブ内の温度の低い部分では遅く、温度の高いところでは速くして、プロセスチューブ４に収容された半導体ウェハＷＦの温度が均一になるように加熱することができる。 - 特許庁

The organic solvent gas supplied to the facing member 4 spreads inside the facing member 4 while dispersing, and is uniformly discharged from the entire bottom surface 43 of the facing member 4 toward the rinse solution adhering on the substrate surface Wf.例文帳に追加

対向部材４に供給された有機溶剤ガスは対向部材４の内部を分散しながら広がっていき、対向部材４の底面４３の全体から均一に基板表面Ｗｆに付着するリンス液に向けて吐出される。 - 特許庁

After rinse processing, a bottom surface 43 as a substrate facing surface of a facing member 4 formed of a porous material is disposed with a space while facing a rinse solution adhering on a substrate surface Wf.例文帳に追加

リンス処理後に多孔質材料で形成された対向部材４の底面４３を基板対向面として基板表面Ｗｆに付着するリンス液に対向しながら離間配置させる。 - 特許庁

This forklift is constituted of a frame 2 rotatably journaling front wheels Wf and rear wheels Wr and provided with a seat S, a lift mechanism 3 of a fork 33 provided with a winch 34 with brake, a steering mechanism 4 of the rear wheels Wr provided with a steering wheel 43, and a speed reduction mechanism 5 of the front wheels Wf provided with a pair of crank arms with pedals.例文帳に追加

前輪Ｗｆおよび後輪Ｗｒを回転自在に軸支するとともに、座席Ｓを設けたフレーム２と、ブレーキ付きウインチ３４を備えたフォーク３３のリフト機構３と、ハンドル４３を備えた後輪Ｗｒの操舵機構４と、一対のペダル付きクランクアームを備えた前輪Ｗｆの減速機構５と、から構成される。 - 特許庁

While a substrate W is rotated at a first rotational speed (for example, 1,000 r.p.m.), hydrofluoric acid is supplied from a chemical discharge nozzle 4 to a substrate surface Wf at a first flow rate of, for example, 2 (L/min).例文帳に追加

基板Ｗを第１回転速度（例えば１０００ｒｐｍ）で回転させる一方、薬液吐出ノズル４から基板表面Ｗfにフッ酸を第１流量、例えば２（Ｌ／ｍｉｎ）で基板表面Ｗfに供給する。 - 特許庁

H-section steel beams 3 and 4 are connected through an outer diaphragm 2 installed to an outer peripheral portion of an H-section steel column 1, and perpendicular stiffeners 7 and 8 are installed to outer sides of a width Wf of a flange portion of the H-section steel beams.例文帳に追加

Ｈ形鋼柱１の外周部に設置する外ダイアフラム２を介してＨ形鋼梁３，４を接合するとともに、そのＨ形鋼梁のフランジ部の幅Ｗｆより外側に垂直スチフナ７，８を設置する。 - 特許庁

A mask pattern 4 consisting of a first mask pattern 4a in the shape of a line of with a width WT of 0.15 μm and a second mask pattern 4b in the shape of a line with a width WF of 1.0 μm parallel with the pattern 4a is made on a mask 1.例文帳に追加

マスク１に、線幅Ｗ_Ｔが０．１５μｍの線形状の第１マスクパターン４ａ、このパターン４ａに平行な線幅Ｗ_Ｆが１．０μｍの線形状の第２マスクパターン４ｂからなるマスクパターン４を形成する。 - 特許庁