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attraction fiberとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 牽引糸
「attraction fiber」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
The normal polyimide sheet cannot be attracted to the electrostatic attraction type wafer holder because the sheet is an insulator but the sheet can be used by an existing semiconductor manufacturing process by laminating and thermally contact-bonding two kinds of the polyimide sheet and the aramid fiber layer up to the thickness of a conventional wafer by using the polyimide sheet given the conductivity.例文帳に追加
通常のポリイミドシートは絶縁体であるため、静電吸着型ウエハー保持装置に吸着できないが、本発明では導電性を持たせたポリイミドシートを使用し、上記二種の層を従来のウエハー厚さにまで積層熱圧着することで、既存の半導体製造プロセスで使用できるようにする。 - 特許庁
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