barcとは 意味・読み方・使い方

FORMULATION FOR REMOVAL OF PHOTORESIST, ETCH RESIDUE AND BOTTOM ANTIREFLECTION COATING (BARC), AND METHOD USING THE FORMULATION例文帳に追加

フォトレジスト、エッチ残留物及びＢＡＲＣを除去するための配合物及び同配合物を含む方法 - 特許庁

BARC ETCHING CONTAINING SELECTIVE ETCHING CHEMICALS AND HIGH POLYMERIC GAS FOR CONTROL OF CD例文帳に追加

選択性エッチング化学薬品及びＣＤ制御のための高重合性ガスを含むＢＡＲＣエッチング - 特許庁

The BARC etching includes a high polymeric gas for controlling the CD and selective etching chemicals together.例文帳に追加

ＢＡＲＣエッチングは、ＣＤ制御のための高重合性ガスと一緒に選択性エッチング化学薬品を含む。 - 特許庁

The significant negative etching bias of the BARC etching is then utilized to etch an opening, having a reduced critical dimension into the substrate layer.例文帳に追加

ＢＡＲＣエッチングの大きな負のエッチングバイアスを利用して、限界寸法の減じた開口部を、基板層にエッチングする。 - 特許庁

For plasma-etching an opening in the BARC with a large negative etching bias, a polymerizing chemical, such as CHF_3, is utilized.例文帳に追加

大きな負のエッチングバイアスにより、ＢＡＲＣに開口部をプラズマエッチングするには、ＣＨＦ_３等の重合化学物質を利用する。 - 特許庁

To provide a formulation for removal of a photoresist, an etch residue and a BARC, and also to provide a method including the formulation.例文帳に追加

フォトレジスト、エッチ残留物及びＢＡＲＣを除去するための配合物及び同配合物を含む方法を提供する。 - 特許庁

During main etching, a part of the BARC 120 remains in the via holes to protect an etching stopper 104 on the bottoms of the via holes 116.例文帳に追加

主要なトレンチエッチングの間、ＢＡＲＣ１２０の一部がビア内に残って、ビア１１６の底部のエッチング停止材１０４を保護する。 - 特許庁

To suppress the increasing trend of a gate size in a long period due to continuous BARC etching in a process of one lot.例文帳に追加

ＢＡＲＣエッチングでの、１ロット内の処理における、また連続エッチングにおける長期的なゲート寸法の太め傾向を抑える。 - 特許庁