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beam deviation factorとは 意味・読み方・使い方
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意味・対訳 ビーム偏移係数
「beam deviation factor」の部分一致の例文検索結果
該当件数 : 1件
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To suppress deflectional deviation of an electron beam for improving the writing positional accuracy by correcting the field magnification factor change due to the resist surface potential.例文帳に追加
被露光レジストに導電膜などを設けなくても、チャージアップを防止でき、レジスト解像力劣化などの問題無く、チャージアップ発生に伴う影響を防止できる電子線描画方法及び電子線描画装置を提供する。 - 特許庁
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