beam discharge plasmaとは 意味・読み方・使い方

To prevent corrosion of an inner wall forming a lead-in flow channel of a case by a plasma beam from a discharge space in a plasma processing device.例文帳に追加

プラズマ処理装置において、放電空間からのプラズマ光により筐体の導入流路を画成する内壁が腐食するのを防止する。 - 特許庁

Discharge is generated between a cathode 14 of a plasma gun 13 and a hearth 31 in a vacuum container 11 to generate plasma beam PB.例文帳に追加

プラズマガン１３の陰極１４と真空容器１１内のハース３１との間で放電が生じ、これによりプラズマビームＰＢが生成される。 - 特許庁

Plasma is generated by entering microwaves into the discharge vessel 19, and ions in the plasma are changed into an ion beam 23 and emitted from the ion source 65.例文帳に追加

放電容器１９内にマイクロ波を入射することによってプラズマが発生され、プラズマ中のイオンはイオンビーム２３となってイオン源６５より出射される。 - 特許庁

When irradiating a substrate 41 with a plasma beam PB generated from a target by cathode arc discharge to deposit a thin film, the normal to the substrate surface is tilted by an angle α relatively to the beam direction of the plasma beam PB.例文帳に追加

陰極アーク放電によりターゲットから発生したプラズマビームＰＢを基板４１上に照射して薄膜を成膜する際に、基板面の法線をプラズマビームＰＢのビーム方向に対して角度αだけ傾けるようにした。 - 特許庁

The material gas is preferably supplied in the form of high density plasma excited by electron beam excited plasma method, high frequency parallel plate plasma method, high frequency plasma method employing rudder-like discharge electrodes, electron cyclotron resonance plasma method, induction coupling plasma method, or helicon wave plasma method.例文帳に追加

原料ガスはプラズマ化して供給することが望ましく、プラズマの励起法としては電子ビーム励起プラズマ法、高周波平行平板プラズマ法、ラダー状の放電電極を用いた高周波プラズマ法、電子サイクロトロン共鳴プラズマ法、誘導結合型プラズマ法あるいはヘリコン波プラズマ法等の高密度プラズマを用いることを特徴とする。 - 特許庁

To carry out the plasma beam processing in vacuum status for the material sensitive to the influence of temperature at a high discharge power and high processing speed.例文帳に追加

高い放電パワー及び処理速度で、温度の影響を受けやすい材料の真空でのプラズマビームの処理を行なう。 - 特許庁

A glass substrate is irradiated with plasma in an electron beam excitation type plasma device and contaminants on the glass substrate are removed using a gaseous argon-oxygen mixture under 0.4-2.7 Pa pressure of gas in plasma discharge.例文帳に追加

電子ビーム励起型プラズマ装置でガラス基板へプラズマを照射し、プラズマ放電中のガスの圧力を０．４から２．７Ｐａの範囲でアルゴン酸素混合ガスを使用してガラス基板上の汚染物質を除去する。 - 特許庁

The surface light source device includes a plurality of main bodies for altering invisible light beams generated from plasma generated in each discharge space, a part of which is mutually coupled, to visible light beam; and a plurality of plasma storage parts disposed at peripheries of coupling parts mutually coupling the discharge spaces, respectively and store the plasma to prevent variations of densities of the plasma in the respective discharge spaces.例文帳に追加

面光源装置は、複数個の、一部が相互連結された各放電空間で発生したプラズマにより発生した非可視光線を可視光線に変化させる本体、及び放電空間を相互連結する連結部の周辺に配置され、各放電空間でのプラズマの密度が変化することを防止するために、プラズマを貯蔵するプラズマ貯蔵部を含む。 - 特許庁