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chemical-ion pumpとは 意味・読み方・使い方
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To prevent inconvenience of ion generation, etc. of metal, etc. by contact of a main delivered liquid such as superpure water, etc. by discharging abrasive fine particulates on a sliding part of a pump and effectively avoiding intrusion of the main delivered liquid extremely high in chemical activation and having corrosiveness to the sliding part.例文帳に追加
ポンプの摺動部で発生した摩粍微粒子を排出するとともに、極めて化学的活性が高く腐食性ある主送液の摺動部への進入を効果的に阻止し、超純水等の主送液のボンプの摺動部への接触による金属等のイオン発生等の不都合を防止する。 - 特許庁
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