classification of defectsとは 意味・読み方・使い方

A defect classification processing section 222 classifies the defects, by what a position of the defect is included in which region of the defined regions with regard to defect data 133 (233) sampled from the defects obtained at a defect-reviewing device 10.例文帳に追加

欠陥分類処理部２２２は、欠陥レビュー装置１０で取得された欠陥からサンプリングしたサンプリング欠陥データ１３３（２３３）について、その欠陥の位置が前記定義された領域のどの領域に含まれるかによって、欠陥を分類する。 - 特許庁

An inspection system 1 is provided with an image pickup device 2 which obtains an image of the object to be inspected, an inspecting and classifying device 4 which performs inspection and automatic classification of defects, and a host computer 5.例文帳に追加

検査システム１に、検査対象の画像を取得する撮像装置２、検査および欠陥の自動分類を行う検査・分類装置４、および、ホストコンピュータ５を設ける。 - 特許庁

To provide a defect classification system capable of performing classification similar to human judgement on defects such as resist coating irregularities, exposure failures, flaws, the adhesion of dust without having to register defect data in micro-inspections principally on semiconductor wafers and liquid crystal panels.例文帳に追加

主に半導体ウェハ及び液晶パネルのマクロ検査におけるレジストの塗付ムラや露光不良、キズ、塵埃の付着などの欠陥に関して、欠陥データの登録を必要とせず、より人間の判断に近い分類を可能にする欠陥分類装置を提供する。 - 特許庁

A TFT array inspection apparatus 1 detects TFT defects on the basis of detected waveforms acquired by two-dimensionally scanning electron rays over TFT arrays and is provided with a defect-type classification part 6 for classifying the types of TFT defects.例文帳に追加

ＴＦＴアレイ検査装置１は、電子線をＴＦＴアレイ上で二次元的に走査して得られる検出波形に基づいてＴＦＴ欠陥を検出するＴＦＴアレイ検査装置であり、ＴＦＴの欠陥の種類を分類する欠陥種類分類部６を備える。 - 特許庁

The defect-type classification part 6 classifies the types of defects, by comparing a previously prepared reference waveform with the detected waveforms and comparing inspection waveforms, acquired by TFT array inspection for classifying the types of TFT defects, with a known reference waveform and determines the types of defects that cannot be distinguished by image display.例文帳に追加

欠陥種類分類部６は、予め用意しておいた基準波形を検出波形と比較することによって、ＴＦＴの欠陥の種類を分類するＴＦＴアレイ検査で取得した検査波形を、既知の基準波形と比較することによって、欠陥種類の分類を可能とし、画像表示では区別できない欠陥種類を判別する。 - 特許庁

To provide an inspection method and apparatus having higher performances than conventional ones whereby the unintended kinds of defects including false informations can be removed from their inspection results and automatic-defect-classification (ADC) results.例文帳に追加

検査結果や自動欠陥分類（ＡＤＣ）の結果から、虚報を含む目的としていない種類の欠陥を除去可能な、より高性能な検査方法及び検査装置を提供する。 - 特許庁

Since the luminance profile is a property acquired by actually photographing the wafer 2 to be inspected and clearly shows the forms of defects, the reliability of defect classification is substantially improved, when compared with the case of comparison with a non-defective pattern.例文帳に追加

輝度プロファイルは、検査対象であるウェハ２外観を実際に撮像して得られる特性であり、欠陥の形態を明確に示すため、良品パターン等との比較による場合と比べて、欠陥分類の確実性が格段に増す。 - 特許庁

To provide a substrate inspection apparatus and a method for automatically detecting defects with little errors at low cost and classifying the defects, and in particular, to provide a substrate inspection apparatus and an automated inspection method for automated inspection to search and find defective particles and unintended defective figures by a designer on a substrate such as a mask reticle and for automated classification of these defects.例文帳に追加

低コスト且つ誤謬の少ない欠陥探索並びにその型分類を自動的に行なう基板検査装置とその方法、特にマスク・レチクル等の基板に於いて欠陥粒子及び設計者の意図とは異なる欠陥図形を探索発見する自動検査と、それ等欠陥の型の自動分類とを行なう基板検査装置及びその自動検査方法を提供する。 - 特許庁