descummingとは 意味・読み方・使い方

A manufacturing method for a semiconductor device using acid diffusion comprises forming a resist pattern in a partial area of a substrate,contacting a result forming the resist pattern with descumming solution which includes an acid source, resolving a resist residue which remains on a substrate face within the descumming solution using an acid obtained from the acid source, and removing the resolved residue and descumming solution from the substrate.例文帳に追加

基板上の一部領域にレジスト・パターンを形成し、レジスト・パターンが形成された結果物に酸ソースを含むデスカム溶液を接触させ、デスカム溶液内で、酸ソースから得られる酸を利用して、基板表面に残留するレジスト残留物を分解させ、分解された残留物及びデスカム溶液を基板から除去する、酸の拡散を利用する半導体素子の製造方法である。 - 特許庁

To provide a negative radiation-sensitive resin composition which can suppress indentation of a resist pattern and resist cracking by plating stress at a plating step and accurately form thick platings, even when descumming (O_2 plasma ashing) treatment is performed as pretreatment for plating, and which is excellent in resolution and adhesion.例文帳に追加

メッキ前処理としてデスカム（Ｏ_2プラズマアッシング）処理を行っても、メッキ工程時のメッキ応力によるレジストパターンへの押し込みやレジストのクラックを抑制することができ、厚膜のメッキ造形物を精度よく形成することができるとともに、解像度および密着性などに優れるネガ型感放射線性樹脂組成物を提供すること。 - 特許庁